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電暈放電表面處理系統優缺點是什么?我們先來講講電暈放電之優點:
電暈放電之優點:
1. 低溫制程
電暈放電并非提高氣體溫度,而是提供局部的高電場以加速電子,進行解離,所以消耗的能約幾乎全部拿來解離氣體,需要的能源小;符合經濟效益。
2. 使用電源較普遍
電暈放電是以電極形狀造成局部高電壓,而且 DC 或 AC電源皆可使用,一般采 AC 電源以避免電漿的不穩定情形發生,并避免電極溫度太高,而供給的電壓不必如 DBD 那么高,對于操作人員較為安全。
3. 設備簡單
基本的設備如圖九所示,為針狀或線狀對平板狀電極,然后通以側向氣體。
接下來為大家講講電暈放電之缺點:
電暈放電之缺點:
1. 處理效果弱
由電暈放電性質知道,電漿分布會集中在電場最大點的附近,不像低壓電漿是均勻分布整個電極,而 DBD 雖然也會造成放電集中,但至少是整個電極均勻分布微小放電。采線狀電極雖然有使處理量擴大,但其改善效果有限。
2. 易造成電極破壞
由于電漿的集中,亦造成針狀或線狀電極需承受高溫,故多采耐火材料如鎢(W),但鎢高溫易與碳結合而脆化(碳 化),在常壓下壽命不長;另一平面電極亦易于受局部集中電場而造成破壞(如放電加工原理)。
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